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光電業光阻剝離製程有機廢氣處理改善案例介紹 - 台灣產業服務 ...
(Dimethyl Sulfoxide, DMSO),故於該製程排出之有機廢氣為高沸點揮發性有機廢氣 ... 因為VOCs 入口濃度高,且擋板捕捉器效率差,以濕式洗.
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