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邁向110 奈米點陣結構之加工技術

電子束曝光法、X-ray 曝光法、近場光學曝光法、 ... 刻片線性速度與點陣線寬之關係圖。 ... H. J. Mamin, R. P. Reid, B. R. Terris, and D. Rugar, Proc.

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