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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

矽晶圓製造業於整個半導體產業架構中係擔任晶圓材料供應. 者角色。隨著半導體產業與 ... 融後，以CZ 法生長矽單晶棒的作法，有可能造成晶體中出現差排（Dislocation）.

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