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半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? - 吳俊逸的數位歷程檔
STI可以當做兩個組件(device)間的阻隔, 避免兩個組件間的短路. 在STI的刻蝕工藝過程中,要注意哪些工藝參數? 答:①STI etch(刻 ...
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