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【光刻百科】聚焦深度Depth of Focus (DOF)_光刻人的世界

焦點周圍的一個範圍，在這個範圍內影象連續地保持資訊，這個範圍被稱作聚焦深度(DOF:Depth of Focus)或焦深[1]，它相當於照相機的景深[2]。

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