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聚焦深度:名詞介紹,描述方程式 - 中文百科全書

中文名：聚焦深度; 外文名：Depth of Focus; 英文縮寫：DOF ... 計算，只考慮來自掩膜版的第0級和第1級衍射光通過投影透鏡在晶圓上成像，聚焦深度定義為2P0P，即為：.

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