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deposition半導體
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PVD / CVD 薄膜沈積(Thin Film Deposition) - ii www.li-fung.biz
物理氣相沈積(Physical Vapor Deposition,PVD)是今日在半導體製程中,被廣泛運用於金屬鍍膜的技術。以現今之金屬化製程而言:舉凡Ti、TiW等所謂的反 ...
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