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deposition半導體
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半導體製程技術 - 聯合大學
化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition). ▫ 化學氣體或蒸氣和晶圓表面的固體產生反應,在表面上. 以薄膜形式產生固態的副產品,其他的副產品是揮發性.
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