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原子層沉積技術平台助半導體製程躍升| 台灣英文新聞 - Taiwan ...

半導體 製程中，原子層沉積技術（atomic layer deposition, ALD）由於具有極佳的薄膜成長厚度控制性、階梯覆蓋性與大面積均勻性，已成為半導體產業的1項 ...

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