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第一章緒論 - 國立交通大學

在建構完整的覆蓋誤差模型後，只要解得各項係數，就可對各種誤差作修正，覆蓋誤. 差的實際模型具有高度非線性，而一般步進機的僅對平移、旋轉、擴張與縮小及晶圓平台. 傾斜 ...

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