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先進製程控制技術(APC)導論- 吳俊逸的數位歷程檔

單靠DCU所收集的機台製程資料，大概只能做簡單的上下限與SPC監控，唯有整合更多的資料，分析比對找尋規則，或是建立機台/製程模型，才能提高APC的效益。

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