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新型微拉伸測試儀之開發及其於薄膜材料機械性質量測之應用

不同薄膜之待測試片，以及需要更改製程等缺點。 ... 如圖7 所示為差分電容代號示意圖，當微測試 ... Mask 1, lift-off & define specimen shape.

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