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如何防止5 、7、10 奈米廠嚴重缺陷異常事件?

在先進5 、7、10 奈米半導體廠含有數百道製程及數百座半導體設備,當半導體設備發生異常,或是材料出問題,均會造成缺陷異常事件 ... 缺陷取樣(defect sample selection):

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