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晶圓檢測系統Model 7940

電極缺陷Pad Defect; 電極殘留Pad Residue; 發光區剝落ITO Peeling; 斷線Finger Broken; 切割道異常Mesa ... 磊晶缺陷Epi Defect; 崩缺Chipping; 晶粒殘留Chip Residue.

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