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技術與材料優化半導體製程超越物理線寬極限 - Digitimes

而在半導體製程進入7奈米節點後，不僅製程前段、後段會面臨更挑戰， ... 同時，製成品在加工工序完成後需再經過缺陷檢測(Defect Inspection)驗證完成 ...

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