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TWI470662B - Ion gun - Google Patents

因此，如上述之整齊排列有複數之離子束引出孔的離子槍中，係以將離子束電流密度變成不均勻之問題(特別是端部側之電流密度變小)藉由簡單且方便之構成予以解決作為課題。

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