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2-1 濺鍍技術

以下介紹磁控濺鍍的原理，以及本實驗所採用的「非平衡磁控濺鍍系 ... 2-1 為直流-雙極式(DC-diode)輝光放電示意圖。 ... 可)，此即為偏壓濺射(Bias Sputtering)。

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