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Particle-Plus 超低壓電漿反應 - 虎門科技

粒子法等離子分析 粒子-PLUS（迭代計劃粒子代碼） ... 為止的應用實例為磁控濺射，PVD，等離子CVD，電容耦合等離子體（CCP），有這樣的一個電介質阻擋放電（DBD）。

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