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三維積體電路關鍵技術及其製程平台開發

由於在三維積體電路製程中，金屬化製程(含TSV、金屬繞線、金屬凸塊)佔整體成本最大比例， ... 為了偵測其製作品質，在電性量測上，設計出單一Kelvin 結構、Daisy chain ...

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