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PVD / CVD薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com

圖中晶片是經由輸送帶傳送進入沈積室內以進行CVD作業，這種作業方式適合晶圓廠的固定製程。圖中工作氣體是由中央導入，而在外圍處的快速氮氣氣流會形成『氣簾』(air ...

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