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半导体分层检测SAT超声波扫描显微镜讲解 - Bilibili

... 简称： C-SAM 或SAT。 频率高于20KHz的声波被称为超声波。超声波扫描显微镜是理想的无损检测方式，广泛的应用在物料检测（IQC）、失效 分析 （FA）。

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