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超声扫描显微镜_百度百科

在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。中文名: 超声波扫描显微镜. 外文名: Scanning Acoustic Microscope ...

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