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金屬壓印誘發矽結晶化摘要複晶矽薄膜電

計畫中文摘要. 關鍵詞：金屬誘發矽結晶化、複晶矽、金屬壓印誘發矽結晶 ... Keywords： Metal induced crystallization of amorphous silicon, poly-Si, Metal imprint.

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