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[クライオポンプの基礎知識 1 ] | ULVAC CRYOGENICS INC

クライオポンプの作動原理と構造 クライオポンプの構造をCRYO-U8Hを例にとり説明する。 クライオポンプに使用される冷凍機は2段式であり、1段目は冷凍能力が大きく80K ...

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