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真空技術簡介

（3） 各式真空幫浦不同的抽氣原理。 ... 旋片幫浦或迴轉幫浦（Rotary-vane pump or Rotary pump）：油封式 ... 冷凍幫浦（Cryopump）特點：乾淨，無油氣污染。

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