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クライオポンプ | 用語集 | JEOL 日本電子株式会社

cryo pump. [目次：真空系]. 液体ヘリウムなどの冷媒により極低温の面を作り、そこに気体分子を吸着させ、高真空を得るポンプ。使用圧力範囲は10 -2 ～10 -13 Pa。

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