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表面與薄膜處理技術(第五版) - 第 2-25 頁 - Google 圖書結果

另一種低溫幫浦(Cryogenic pump)是利用超低溫的冷媒把氣體冷凝或吸附,即可降至超真空的境界。冷媒可使用液態氦,則真空腔冷凍絕大多數的氣體,氫氣和氦氣等則以分子篩或 ...

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