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廠務系統能源轉換係數(ECF)之建立及應用 - 博碩士論文網

... 尚需考量支援設施即廠務系統，為了評估及量化整體能耗，SEMI S23定義了能源轉換係數稱為ECF(energy conversion factor)，定義為提供單位製程使用量所需之耗電量， ...

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