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TW 201446643 A (43) 公開日:中華民國103 (2014)年12月16日

APPARATUS AND METHOD FOR THE CONDENSED PHASE. PRODUCTION OF TRISILYLAMINE. O(中文). 本發明係關於一種用於合成三矽烷胺(trisilylamine,TSA)之凝結. 相分批法。

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