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全球半導體產業PFCs排放減量現況技術報導

當半導體工業在發展替代化學時，任何會減少PFC排放的替代化學，亦會產生F2、HF和其他副產物的排放。氟碳化物會產生其他PFCs和COF2，而NF3會增加F2、HF、和NOx的 ...

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