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脆性基板之雷射震波裂片技術

技術，以不穩定裂片技術原理為基礎，佐以. 鑽石刀劃線技術，預先在基板上製作劃刻. 道，再使用脈衝式的CO2雷射以離焦的方式. 來進行裂片。本文藉由劃刻道引導裂紋擴.

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