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乾式真空泵之中央監控系統(DPM CMS) | 半導體晶圓產業

傳統CMS 系統(Central Monitoring System)每台電腦只能連接40 台Pump，而本案例的廠區設備數量超過62.5 倍之多。 單一圖控軟體僅能建立200~300 個聯接點(Connection)的限制 ...

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