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CMP 研磨液（Slurry）淺談 - 資訊咖

CMP研磨液 （Slurry）是平坦化工藝中的研磨材料和化學添加劑的混合物，Slurry主要是由研磨劑、表面活性劑、PH緩衝膠、氧化劑和防腐劑等成分組成，其中研磨劑一般包括二 ...

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