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科技與化學－化學機械研磨漿料相關介紹

density)，提升製程良率。利用奈米技術的CMP 是目前最有效達到晶圓表面平坦化的方法。 三、 研磨漿料的成分與作用. 研磨漿料有5 種作用，即軟化、潤滑、洗滌、防銹和 ...

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