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化學機械研磨 - 中文百科知識

一概述化學機械研磨CMP概圖晶圓製造中，隨著製程技術的升級、導線與柵極尺寸的縮小，光刻(Lithography)技術對晶圓表面的平坦程度(Non-uniformity)的要求越來越高，IBM ...

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