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平坦化制程简介_百度文库

CMP 研磨前(高低起伏) CMP 研磨後(平坦化) CMP 研磨前(鎢沉積) CMP 研磨後(鎢栓塞) 國家實驗研究院國家奈米實驗室自1997 年開始， 半導體製程邁進0.5 ...

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