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3M Trizact研磨墊|化學機械平坦化(CMP)製程|半導體產業解決方案
先進節點的高級效能 · 利用設計精準的三維微複製粗糙突起和孔隙,來界定研磨墊的紋理,並幫助確保研磨墊對研磨墊效能的一致性—達到先進節點化學機械平坦化流程的要求。
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