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化學機械研磨製程空氣背壓對晶圓應力分佈和表面不平坦度的 ...

研磨液. 研磨平台. 承載器旋轉. 晶圓. 圖1 化學機械研磨製程示意圖. 由圖1 知，化學機械研磨製程的加工機制在本質上非常複雜，要解析其磨耗機制是相當困.

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