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化工CMP:半导体平坦化核心技术,国内龙头放量在即
直至今日,采用氧化铈研磨液的抛光工艺依然是STI CMP. 的主流方法。 图4:Direct STI CMP 抛光工艺. 图5:铜CMP 中采用双大马士革工艺. 资料来源 ...
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