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cmp原理
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半导体制造关键工艺装备CMP,国产装备崛起- 手机21IC电子网
而且随着芯片制造技术发展,CMP 工艺在集成电路生产流程中的应用次数逐步 ... CMP的作业原理:抛光头将晶圆待抛光面压抵在粗糙的抛光垫上,借助抛光液 ...
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