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國立中興大學機械工程學系

CMP 即是化學機械拋光(Chemical mechanical Polishing) ，又因通常可以用做為晶圓的 ... 用導螺桿的原理，先固定導螺桿在壓克力盒子上，再由齒輪帶動導螺桿旋轉，帶動 ...

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