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半導體化學機械研磨（CMP）工藝解密 - 每日頭條

研磨製程根據研磨對象不同主要分為：矽研磨(Poly CMP)、矽氧化物 ... 原理圖. 化學機械研磨磨好了什麼樣？ 光滑了，平坦了，白白嫩嫩的樣子.

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