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谁知道CMP工作原理具体情况如何 - 行行查

CMP 过程中，抛光液中的成分与工件表面的凸起区域发生化学反应，生成结构较松软的反应层，通过抛光盘的划擦作用，将质软的反应层去除，并露出新的未 ...

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