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CMP 量測技術課程

下午則由陳俊賢講師為各位講述使用光學來量測半導體元件結構尺寸，以及概述如何藉由所獲得的尺寸來增進CMP的效能。課程首先會介紹光學量測(OCD Metrology)的原理以及背景， ...

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