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CMP的工作原理及上游材料包括哪些？ - 问答集锦- 未来智库

CMP 工作原理是在一定压力下及抛光液的存在下，被抛光的晶圆对抛光垫做相对运动，借助纳米磨料的机械研磨作用与各类化学试剂的化学作用之间的高度有机结合 ...

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