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化学机械抛光技术（CMP）中有哪些核心材料？ - 知乎专栏

CMP 工作原理示意图. CMP技术对于半导体晶圆加工不可或缺，其加工质量与其中各类关键材料的作用息息相关，由下图可知，在晶圆制造中，CMP抛光材料约占据总成本的7%，而 ...

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