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CMP 應用技術淺析- 精密拋光材料專家 - 北京国瑞升

一、CMP技術設備及消耗品CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化學機械拋光。CMP技術所采用的設備及消耗品包括：拋光機、拋光漿料、拋光墊、後C.

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