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毫米波可重置CMOS-MEMS前端電路之設計

本論文利用TSMC 0.18-μm以及UMC 0.18-μm CMOS微機電製程實現四顆電路，分別是兩顆DC-70 GHz具低驅動電壓之單刀單擲CMOS微機電開關、CMOS-MEMS 致動器與可變電容測試鍵 ...

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