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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 設計

設計、製作CMOS 製程相容之微機械邏輯閘及其IC 電源管理技術之. 應用(III) ... 種新穎的元件設計，圖1 為元件製作流程圖，其製程步驟詳述如下:.

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