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奈米液滴壓電致動產生器—製程、組裝與測試之研究

製程流程 ，首先設計晶片，透過CMOS. MEMS 後製程產生噴嘴及腔體流道，取回晶片. 後將預先電鑄好的鎳振動薄膜貼附於整片晶片. 之上，以密閉腔體結構並且輔助提昇潛埋 ...

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